Het Nederlandse ASML krijgt concurrentie in eigen land van de Delfste chipmachinefabrikant Mapper Lithography die vandaag bekendmaakt dan het een investering van 80 miljoen euro heeft binnengehaald. Het geld komt van diverse partijen, waaronder de Nederlandse overheid

Mapper maakt chipmachines die geïntegreerde schakelingen maken op basis van elektronenlithografie. ASML werkt met fotolithografie dat met lichtgolven werkt. De elektronenbundels, of e-beams, zorgen voor chips met meer schakelingen.

Meer schakelingen op chip

Chipmachinefabriek Mapper is gespecialiseerd in het etsen van patronen in wafers met behulp van elektronen. Deze e-beamtechnologie levert een chip met meer schakelingen op dan bijvoorbeeld met de ArF-techniek wordt bereikt, dat een grens heeft van 38 nanometer. Met de machines die nu in ontwikkeling zijn kunnen chipfabrikanten naar 10 á 14 nm.

“Het probleem van een elektronenbundel is dat het heel langzaam patronen aanbrengt", legt Mapper-ceo Bert-Jan Kampherbeek uit. “De oplossing om toch snel chips te produceren ligt in het gebruik van een heleboel bundels tegelijk." In de machines die nu in ontwikkeling zijn worden 1326 bundels gebruikt zodat er één wafer per uur gebakken wordt.

Nieuwe lensproductie

In theorie kunnen e-beams worden verkleind om patronen van enkele nanometers te etsen. De resolutie kan dus nog veel verder worden opgeschroefd. ASML zet ondertussen flink in op een andere technologie waarmee chips worden beschreven met fotolitografie. Geïntegreerde schakelingen worden met deze machines geproduceerd met extreme ultraviolet (EUV) met een heel kleine golflengte.

“We ontwikkelen twee dingen: de lenzen om de bundels te focussen en de technologie om deze elektronenbundels aan te sturen", vertelt Kampherbeek. Met de investering wordt onder meer een lensfabriek in Rusland gebouwd. “Momenteel werken we bij de TU Delft aan lensproductie, maar we nemen dat nu zelf in de hand met deze nieuwe fabriek."

Chipmachines voor TSMC

Mapper levert de eerste generatie e-beammachine onder meer aan de Taiwanese chipfabrikant TSMC die ook investeert in de EUV-technologie van ASML. Met de opvolger die in ontwikkeling is, wordt het aantal bundels vertienvoudigd waardoor tien wafers per uur kunnen worden bewerkt.

Het totale investeringsbedrag is afkomstig van diverse beleggers, zoals het investeringsfonds RUSNANO, ADP Industries en individuele Nederlandse beleggers. Ook de het ministerie van Economische Zaken, Landbouw en Innovatie steekt geld in Mapper via oveheidsbeleidsgroep AgentschapNL.